Cassette Change

개요
Cassette에서 Wafer Unloading 후 출하용 Container에 Wafer Loading장비
Cassette 및 Container User 호환가능, Manual/Auto 구동 가능

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제품사양

Item Specification Remark
System Part 제어사양 PLC
Utility Electrical 단상 220V±10%, 15A
Pneumatic (Min.)0.5~(Max.)0.7Mpa
Hardware Part Wafer Size 200mm & 300mm(8″ & 12″)
구동부 공압 Cylinder
Cassette 투입높이 700mm
Dimension(W x D x H) 1,250mm x 920mm x 1,050mm