CIS

개요
Color Filter 및 Micro Lens 공정 진행시 발생하는 각종 얼룩성 불량(흑선, 흑점, 백점등)을 광학계를 이용하여 검출하는 장비
Micro Lens 고정에서 발생하는 Defocus 검출 가능.

관련사진

23_01

제품사양

Item Specification
Vision Part Inspection Camera TDI Scan Camera : 12K
Pixel Size : 5.2μm
Illuminator 동축 조명
Dome 조명
Lens Micro Lens(X5)
Review & Align Review WDI ATF
Micro Lens(X1, X20, X50)
동축 조명
Align Auto-Align
System Part Network TCP/IP
RS-232
Utility Electrical 단상 208V±10%, 30A, 6.2KW
Pneumatic 5kg/cm2 Clean Dry Air
Chip 선별 방식 Map & Inking
Hardware Part Wafer Size 200mm & 300mm(8″ & 12″)
Wafer Handling Loading : Auto Loading to Wafer Chuck
Unloading : Auto Unloading from Wafer Chuck
XYZ-Stage X-Axis Y-Axis Z-Axis
Flatness ±10μm ±10μm ±3μm
Accuracy ±2μm ±2μm ±5μm
Repeatability ±1μm ±1μm ±3μm
Wafer Align Method Auto-Align +Vision Type
Rotation ±5°
Cleanness HAPA Filter적용(0.3um)
Dimension(W x D x H) 1,780mm x 1,320mm x 2,170mm

제품사양

23_02