OGI검사기

개요
출하전 Wafer 불량을 Micro Scope를 이용하여, 육안으로 검사하는 최종 검사 장비
검사자에 의한 Wafer 파손 방지 기능, 상부 Microscope 검사 시 Joystick 사용 가능, Cassette Auto Loading/Unloading System, 선별적 Wafer Loading가능

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제품사양

Item Specification Remark
Optical Part Microscope Lens X50, X100, X200
Illuminator LED Illuminator
System Part Network TCP/IP
RS232
Utility Electrical 단상 208V±10%, 15A, 3KW
Pneumatic 5kg/cm2 Clean Dry Air
Hardware Part Wafer Size 200mm & 300mm(8″ & 12″)
Wafer Handling *Loading : Semi Auto Loading
*Unloading : Semi Auto Unloading
Cassette 투입높이 600mm
Wafer 전면 검사 높이 900mm
Wafer 후면 검사 높이 1,200mm
Wafer 후면 각도 120°
Cleanness HAPA Filter 적용(0.3um)
Dimension(W x D x H) 2,120mm x 900mm x 1,770mm +Tower Lamp 및 FFU 높이 제외