ATF Sensor

개요
재현성이 있고 안정적으로 신속하게 Focus를 자동으로 맞출 수 있고, 어떤한 상황에서도 Focus를 맞출 수 있도록 개발한 영상 Capture방식으로 진동이 심한 조건에서도 Focusing 가능

관련사진 / Inspection Procedure

17_01
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제품사양

Microscope Lens VIS VIS VIS
NIR
NIR
NUV
UV
UV VIS
Magnification 5X 10X 20X 50X 80X 100X unit
Focus Repeatability 2 0.5 0.3 0.2 0.15 +0.1 μm
Focus Accuracy 6 1.5 1 0.6 0.4 +0.3 μm
Resolution 1 0.5 0.2 0.1 0.06 0.05 μm
Capture Range 2500 1000 500 250 100 +100 μm
Linear Range -T/2 500 250 100 30 15 +15 μm
Autofocus Update Rate 500Hz
Autofocus Speed Tracking Mode 0 sec.(after objective change)
Autofocus Speed Static Mode 0.2sec