OLED Macro 검사기

개요
본 장비는 실제 생산 라인 대응을 통해 얻어진 Know-how를 바탕으로 OLED 공정의 중간 또는 최종단에 설치하여 각각의 공정마다 발생하는 불량을 사용자에 의해 정해진 광학 조건으로 자동 검사가 가능하며, In-Line 대응에 최적화된 Module Type과 Stand Alone Type으로 제작됨.

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제품사양

검출 Defect Mura(원형, 가로, 세로, 사선 Mura 검출가능)
적용 Inch 세대별 Glass 대응 가능
Camera/Lens Line Scan Camera / 가변 Lens
해상도 200um
조명 LED Bar 조명

시스템 특징

  • Module Type과 Stand Alone Type으로 제작 가능
  • 카메라 및 조명의 광학 조건(각도와 높이) 자동 설정 가능
  • Multi-Scan Recipe 기능
  • 검사 영역 설정 기능
  • 불량영상 및 원본영상 자동저장 기능
  • 연속 불량 발생시 알람, 정지 기능