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엔지온, K-Display 2022서 IGZO 박막의 전기적 특성 예측하는 장치 ‘Vigth’ 알려!

작성자 관리자 등록일 2022. 08. 10 조회수 119

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K-Display 2022에 참가한 엔지온 전시 모습 │촬영-에이빙뉴스
㈜엔지온(대표 나정운)은 8월 10일(수)부터 12일(금)까지 3일간 서울 코엑스(COEX)에서 진행하는 ‘K-Display 2022(한국디스플레이산업전시회)’에 참가했다.

엔지온은 반도체 공정 회사이면서 시스템 개발 회사이다. 본사인 오창사업장에서는 반도체 후가공 파운더리 사업으로, 화성사업장에서는 신기술 개발을 통한 시스템 개발 사업과 세계적인 기술력을 지닌 WDI Wise Device Inc, CoreFlow, 그리고 Onto Innovation의 한국 대리점으로 각기 반도체 및 디스플레이산업 분야 발전에 기여, 성장하고 있다.

또한, 엔지온은 OLED산업에서 주요한 박막으로 사용되는 IGZO 박막의 전기적 특성을 예측하는 장치 ‘Vigth’를 개발했다. 말 그대로 IGZO 박막의 Vth를 측정하는 기술, 장비로 IGZO 박막을 성막 후에 직접 I-V 특성과 C-V 특성의 측정이 가능하다. 3단자 측정이 가능한 설비를 구성하고 Micro Probe Pin 형태로 구성한 Probe unit을 개발하여 본 기술에 접목했다. 성막 후 소자를 형성하기 위한 추가 공정 및 시간이 필요 없고, 직접적으로 전기적 특성을 평가하는 것으로 IGZO 성막 설비나 새로운 조성의 금속 산화물 반도체를 개발하는 과정에서 유용하게 활용될 것으로 기대한다는 게 관계자의 설명이다.

IGZO는 OLED산업에서 반도체의 Si-Wafer와 같이 전자(Electron)가 이동하는 핵심이 되는 박막으로 그 막의 특성이 안정적이고 예측 가능해야 한다. 관계자는 “현재의 측정방식은 간접적이고 예측이 불확실하여 특성 확인을 위한 소자 형성을 위해 추가 공정을 진행해 성막 후 수일이 지난 후에야 그 결과를 확인할 수 있었다. 하지만 Vigth를 활용한다면 성막 후 바로 그 특성을 확인하고 이를 공정조건에 반영하여 시간과 비용의 절감은 물론, 안정적이고 예측 가능한 IGZO 박막을 생산할 수 있게 된다”고 설명했다.

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엔지온 부스 전경 │촬영-에이빙뉴스
이어 “자사는 OLED산업에서 주요한 박막으로 사용되는 IGZO 자체의 전기적 특성을 예측할 뿐 아니라 이를 실제 공정에 도입할 수 있는 기술을 개발했다. 새롭게 개발된 기술과 이를 적용한 시스템을 필요로 하는 연구소 및 기업에 소개하고 널리 활용하여 품질과 생산성 향상에 도움이 되고자 한다”고 전시회 참가 배경을 밝혔다.

향후 계획도 알렸다. 관계자는 “실험실용 Vigth 장치가 설계를 마친 상태로 올 11월 출시를 기다리고 있다. 현재 OLED 산업에서 사용되는 IGZO 박막뿐만 아니라 다양한 금속 산화막을 연구하는 실험실에 적합하도록 제작한 제품이다. 각 실험실에서 보유 중인 파라메터 분석기를 연결해 사용할 수 있으며 크기도 책상에 올려 둘 수 있는 크기로 실험실에서 사용하기에 최적화된 제품이다.”라고 전했다.

한편, 올해 21회째를 맞은 이번 전시회는 ‘Everything is Display-able!’이란 슬로건 아래 최신 디스플레이 기술과 트렌드를 확인할 수 있는 국내 최대 규모의 디스플레이산업 전문 전시회이다. 산업통상자원부와 한국디스플레이산업협회가 주최 및 주관한 K-Display 2022는 테마관(체험존·미디어존), 국내외 바이어 초청 상담회, 채용박람회, 신기술·신제품 발표회(현장세미나), 비즈니스 포럼 등으로 구성됐다.



엔지온 전시 모습 │촬영-에이빙뉴스

출처 : 에이빙(AVING)(http://kr.aving.net/news/articleView.html?idxno=1770602)