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시스템 반도체 웨이퍼 후가공 서비스 전문기업 (주)엔지온, IMID 2021 참가

작성자 관리자 등록일 2021. 08. 19 조회수 1559

시스템 반도체 웨이퍼 후가공 서비스 전문기업 (주)엔지온, IMID 2021 참가 [첨부 이미지1]

(주)엔지온(대표 나정운)은 오는 8월 25일(수)부터 27일(금)까지 3일간 서울 코엑스(COEX) C홀에서 열리는 'IMID 2021(한국디스플레이산업전시회)'에 참가한다.

 

2003년 설립한 (주)엔지온은 시스템 반도체 웨이퍼 후가공 서비스와 디스플레이 검사 기술을 주력으로 삼고 있다.

 

벤처기업 인증, 글로벌강소기업, 글로벌IP스타기업, 소재 부품 전문기업 등 다수의 인증을 보유하고 있으며, 삼성 디스플레이, SK 하이닉스, 실리콘웍스, DBH등 글로벌 반도체, DISPLAY 회사의 든든한 동반자로 성장하고 있다.

 

(주)엔지온은 IGZO 자체의 전기적 특성을 예측하는 실제 공정에 도입할 수 있는 기술을 개발했다. IGZO 박막을 성막 한 후에 직접 전압과 전류의 특성을 측정한다. 3단자 측정이 가능한 설비를 구성하고 Micro Probe Pin을 형태로 구성한 Probe unit를 개발하여 본 기술에 접목시켰다.

 

이를 통해 IGZO의 Vth를 예측할 수 있으며 본 공정은 간접적인 방식이 아니기 때문에 별도의 공정도 필요 없으며 적용 방법이 무궁무진 함으로 디스플레이 생산 라인 전반에 도입할 수 있고 R&D연구소에서 소자를 제작하지 않고 물성을 평가하는 용도로 사용할 수도 있으며, IGZO 성막 설비나 새로운 조성의 금속 산화물 반도체를 개발하는 과정에서도 유용하게 활용될 것으로 기대하고 있다.

 

올해 하반기를 목표로 6세대용 장비를 개발하고 있고, 대량 생산 공정에도 적용할 수 있도록 8세대 이상 대면적 자동화 설비도 개발할 예정이다. 또한 보다 정밀한 측정을 위해 추가적인 감도 개선도 진행할 계획이다.

 

한편, 한국디스플레이산업협회가 주관하고 한국정보디스플레이학회가 후원하는 IMID 2021의 주요 전시품목은 다음과 같다. △OLED, LCD, Wearable, Flexible, Touch, Automotive, Micro Display △디스플레이 관련 장비 및 설비-생산장비, 검사장비, 측정장비, 수리장비, 계측기기, 클린룸 설비 등 △디스플레이 관련 재료 및 부품-Glass, Color Filter, BLU, 편광필름, Drive IC, OLED 재료, ITO 타겟 등​ 

 

출처 : 에이빙 뉴스(http://kr.aving.net/news/view.php?articleId=1626202&Branch_ID=kr&rssid=naver&mn_name=news) 

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