(주)엔지온

"6세대용 장비 연내 개발 목표"

8세대 이상용 설비도 개발 예정 

엔지온의 산화물 반도체 박막 측정기

디스플레이 검사장비 업체 엔지온이 OLED 디스플레이의 산화물 반도체 박막 측정기를 개발했다.

나정운 엔지온 대표는 "유기발광다이오드(OLED) 디스플레이의 산화물 반도체인 '인듐·갈륨·아연·옥사이드(IGZO·이그조) 박막 측정기'를 개발했다"며 "연내 중소형 OLED용 산화물 반도체 박막 측정기 개발이 목표"라고 26일 밝혔다.

IGZO는 디스플레이에 사용하는 금속산화물 반도체다. 대형 OLED의 산화물 박막트랜지스터(TFT), 중소형 OLED의 저온다결정산화물(LTPO) TFT에 쓰인다. 중소형 OLED에서 LTPO TFT는 기존 저온다결정실리콘(LTPS) TFT에 산화물 반도체 공정을 추가한 기술이다. 대형 OLED 산화물 TFT는 LG디스플레이의 대형 OLED, 중소형 OLED LTPO TFT는 삼성디스플레이와 LG디스플레이 등의 스마트폰·스마트워치 OLED에 사용한다.

나정운 대표는 "IGZO를 이용한 TFT는 다양한 공정의 영향을 받기 때문에 IGZO 자체 박막 특성 파악이 불량 분석에서 중요하지만 기존 생산라인은 IGZO 자체 전기 특성을 확인하지 못한다"며 "TFT를 완성한 뒤 전체 특성을 확인할 때 불량이 나오면 원인을 찾기 어렵다"고 설명했다. 이어 "그간 IGZO 전기 특성을 측정하기 위해 제안됐던 여러 방법은 IGZO 특성을 직접 측정하지 못하거나 추가 공정이 필요해 양산라인에 도입된 경우는 거의 없었다"고 덧붙였다. 엔지온이 산화물 반도체 박막 측정기를 개발한 것도 이 때문이다.

나 대표는 "이번에 개발한 방법은 IGZO 박막을 만든(성막) 뒤 별도 추가 공정 없이 박막의 전압·전류 특성, 특히 문턱전압(Vth:Threshold Voltage)을 예측할 수 있다"며 "공정 불량을 빠르고 정확히 파악해 불량 개선과 생산성 향상을 도울 수 있다"고 말했다. 이어 "이를 구현하기 위해 3단자(게이트·소스·드레인) 측정이 가능한 설비를 구성하고 어레이 형태 마이크로 프로브 핀(Micro Probe Pin)을 만들었다"고 설명했다.

엔지온의 산화물 반도체 박막 측정기 이름은 '빅스'(Vigth)다. IGZO 문턱 전압을 검증한다는 의미다. 엔지온은 산화물 반도체 박막 측정기가 패널 업체의 생산라인에 공정 모니터링 용도로 도입될 수 있다고 기대한다. 연구개발 과정에서는 소자를 제작하지 않고 물성 평가용으로 사용 가능하다. IGZO 성막 설비나 새로운 조성의 금속산화물 반도체를 개발하는 재료업체도 잠재 고객사다.

엔지온은 올해 안에 6세대(1500x1850mm)용 산화물 반도체 박막 측정기를 개발할 계획이다. 최근 중소형 OLED 시장은 프리미엄 제품 중심으로 LTPO TFT 적용이 늘고 있다. 이 회사는 8.5세대(2200x2500mm)용 장비도 개발할 예정이다. 

출처 : 전자부품 전문 미디어 디일렉(http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=14004)